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真空度測試儀操作說明

點擊次數:1042 更新時間:2020-03-17
  • 真空度測試儀接線說明

讓滅孤室兩觸頭處于分開狀態,然后繞上磁控電圈,再把磁控線圈的兩個插頭插到磁控電流輸出的兩個紅黑插頭上。另外,高壓線與離子線分別接在真空泡的兩個觸頭上(動、觸頭不分)。

  • 按鍵說明

面板上所有的按鍵,若其上的小指示燈亮則表示按鍵有效,反之,則無效。若該鍵有效時,再按該鍵,則指示燈滅,該鍵處于無效狀態。

  • 測試步驟方法
  • 開機

檢查接線正確后,方可開機。將儀器面板上的電源開關鍵按向“開”位置,數碼顯示屏的*即出現“P”字,經校驗(3.2步驟)正常后, 說明儀器運行正常,預熱5分鐘后便可進行測量.

  • 儀器檢查

執行該功能,校驗儀器及自檢功能。順序按【選擇鍵】、【校驗鍵】、【測量鍵】,使其有效。使用上下鍵調節檢查參數(管型顯示處)

  • 選擇參數1~3采樣放大器檢查:

調至1時,顯示值均0.000---9.000×10-6之間;

調至2時,顯示值均0.000---9.000×10-5之間;

調至3時,顯示值均0.000---9.000×10-4之間;

  • 選擇參數4充電控制檢查:

調至4時,充電回路接通,終將電容電壓控制在350V。

  • 選擇參數5,顯示器檢查:

此時,顯示器逐筆點亮,六位一致不多筆畫少筆畫。檢查完畢需按【復位鍵】。

選擇參數6,啟動高壓:

這時,高壓指示燈亮,高壓產生,顯示器后四位顯示高壓值,單位是萬伏。做該項檢查時,注意高壓線位置,以免發生危險。

  • 選擇參數7,內部數據存儲器檢查:

   儀器內計算機對內部數據存儲器進行嚴格檢查,顯示器顯示出正在接受檢查的單元的地址,若出錯,則計算機停止檢查,顯示器的值即是出錯地址。單元編號以8000H9FFFH,當接近9FFFH時,按住上下鍵,則檢查結束時,退出該項檢查,反之,則重復檢查。

  • 管型選擇
    • 測量時,首先確認真空泡管型。參照說明書內附錄一或附錄二。將真空泡管型對
      應的曲線號輸入儀器顯示窗口管型內。
    • 若說明書中沒有標明所測量的管型時,可于現場量出真空泡直徑(外徑),尋找
      對應的曲線號即可。應注意的是測量時尺寸盡量相近,并且接線方式相同。
    •    使【選擇鍵】有效,然后用↑鍵↓鍵調整管型參數,調出所需的曲線號(詳見第二章儀器介紹/性能特點/第三節)
    • 如果沒有可代用的參數,則可使【校驗鍵】有效,這樣可直接給出電離電流,一

般來說,電離電流(A)較真空度(Pa)小兩個數量級左右。

  • 被測管型是10KV以上選用選擇開關高檔位,10KV以下選用選擇開關低檔位。

3.4 測量

  • 管型確定后,按下【選擇鍵】退出選擇,按下【測量鍵】。儀器便自動完成所有

的測量、計算、顯示等全過程。若此時按下打印鍵,則打印測量結果。

  • 儀器內計算機執行測量步驟如下:

啟動高壓→測漏電電流→關閉高壓→接通充電開關→電壓到規定值→啟動磁控電流,測量漏電電流+電離電流,→扣除漏電電流→電流轉變成真空度值→顯示。若【校驗鍵】有效,則顯示電流值